《Science》：一種新型3D打印納米級(jí)玻璃結(jié)構(gòu)的工藝，無(wú)燒結(jié)且低溫！
時(shí)間：2023-06-21 09:33 來(lái)源：南極熊 作者：admin 閱讀：次
2023年6月，來(lái)自德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院 (KIT) 的研究人員開(kāi)發(fā)了一種新的石英玻璃3D打印工藝，使用雙光子聚合技術(shù)實(shí)現(xiàn)了自由形式熔融二氧化硅納米結(jié)構(gòu)的免燒結(jié)打印制造，這在3D打印領(lǐng)域引起不小的轟動(dòng)。他們的研究已經(jīng)發(fā)表在了《Science》上，題目為《A
sinterless, low-temperature route to 3D print nanoscale optical-grade
glass》(《一種無(wú)燒結(jié)、低溫的3D打印納米級(jí)光學(xué)玻璃的工藝》)。
研究背景
基于燒結(jié)的技術(shù)一直在石英玻璃的3D打印中占據(jù)主導(dǎo)地位。然而，二氧化硅基納米粒子的燒結(jié)需要將材料加熱到 1100 °C 的溫度，這對(duì)于打印半導(dǎo)體芯片等來(lái)說(shuō)太熱了。在如此高的溫度下，就不可能在微系統(tǒng)技術(shù)中使用打印的石英玻璃結(jié)構(gòu)，因此想要在微系統(tǒng)中打印石英玻璃結(jié)構(gòu)一直是個(gè)難題，在技術(shù)上也無(wú)法實(shí)現(xiàn)重大突破。
在此研究中，研究者們瞄準(zhǔn)的是雙光子聚合技術(shù)，因?yàn)槲⑾到y(tǒng)技術(shù)如今主要局限于平面結(jié)構(gòu)，而納米分辨率下幾乎不受約束的 3D 設(shè)計(jì)自由度使雙光子聚合 (TPP) 3D 打印具有從根本上改變微系統(tǒng)技術(shù)的潛力。TPP打印是基于光敏材料的激光曝光，這些材料最常見(jiàn)的是具有固有可變光學(xué)、機(jī)械性能以及有限環(huán)境穩(wěn)定性的聚合物。總而言之， TPP 有助于直接在微芯片上原位3D打印形狀復(fù)雜的聚合物自由形態(tài)微米和納米結(jié)構(gòu)的潛力。
研究?jī)?nèi)容
△通過(guò) TPP 3D 打印和后續(xù) 650°C 熱處理的示意圖。
由 Jens Bauer 博士領(lǐng)導(dǎo)的研究小組開(kāi)發(fā)了一種無(wú)燒結(jié)、低溫的3D打印納米級(jí)玻璃結(jié)構(gòu)的新工藝，工藝溫度約為原來(lái)的一半。
●材料
研究人員創(chuàng)造了一種混合有機(jī)-無(wú)機(jī)聚合物的樹(shù)脂，作為研究的初始材料，這種液態(tài)樹(shù)脂由多面體低聚倍半硅氧烷分子 (POSS) 組成，這些是微小的籠狀二氧化硅分子，上面附著有機(jī)官能團(tuán)。
●打印
然后，研究人員依靠雙光子聚合技術(shù)來(lái)3D打印這種 POSS 樹(shù)脂。一旦 3D 打印的有機(jī)-無(wú)機(jī)納米結(jié)構(gòu)形成，它就會(huì)在管式爐中的空氣中加熱到 650°C，從而排出基礎(chǔ)樹(shù)脂的有機(jī)成分并結(jié)合 POSS 樹(shù)脂的無(wú)機(jī)成分。
△熔融石英結(jié)構(gòu)的顯微照片
●后處理
在后處理中，打印物體被放置在異丙醇-酒精浴中20分鐘以溶解剩余的未固化樹(shù)脂。該過(guò)程是為了得到完整且連續(xù)的微米級(jí)或納米級(jí)熔融石英結(jié)構(gòu)。由于POSS樹(shù)脂本身是硅氧分子網(wǎng)絡(luò)，最終打印出來(lái)的結(jié)構(gòu)是由純二氧化硅制成的熔融二氧化硅，完全沒(méi)有燒結(jié)，溫度也很低。研究人員指出：“較低的溫度可以直接在半導(dǎo)體芯片上自由打印堅(jiān)固的光學(xué)級(jí)玻璃結(jié)構(gòu)，并具有可見(jiàn)光納米光子學(xué)所需的分辨率。“
●納米級(jí)結(jié)構(gòu)的測(cè)試
研究人員該團(tuán)隊(duì)在多個(gè)物體上測(cè)試了該方法并制造了各種納米級(jí)結(jié)構(gòu)，包括獨(dú)立光束的光子晶體、拋物面微透鏡和具有納米結(jié)構(gòu)元件的多透鏡微物鏡。通過(guò) TPP 打印了具有非球面輪廓的平凸熔融石英微透鏡，并對(duì)其進(jìn)行了數(shù)值優(yōu)化以校正球面像差。最終的 POSS 玻璃鏡片，基直徑為 82 毫米，矢狀（弧垂）高度為 15 毫米，在 650°C 下進(jìn)行處理，具有原始結(jié)構(gòu)質(zhì)量，具有精細(xì)的納米級(jí)輪廓和光滑表面。測(cè)試結(jié)果表明研究提出的新工藝能夠具有四倍的分辨率增強(qiáng)效果，從而推動(dòng)可見(jiàn)光納米光子學(xué)，同時(shí)也開(kāi)辟了許多可能的應(yīng)用。
△TPP 打印的 POSS 玻璃可以制造高質(zhì)量的自由形式微光學(xué)元件
結(jié)論
Jens Bauer 博士的團(tuán)隊(duì)已經(jīng)成功地通過(guò) 3D 打印的方式生產(chǎn)了多種納米級(jí)石英玻璃結(jié)構(gòu)，完全沒(méi)有任何燒結(jié)。3D 打印的納米級(jí)石英玻璃結(jié)構(gòu)也可以直接打印到半導(dǎo)體芯片上。這種玻璃 3D 打印的新工藝為高科技應(yīng)用、光子學(xué)和微光學(xué)開(kāi)辟了許多有趣且具有前瞻性的可能性。POSS-玻璃 TPP 3D 打印路線可能有助于重新定義硅玻璃自由形式制造的范例，并克服主導(dǎo)該領(lǐng)域的基于粒子的方法的基本局限性。
●研究的關(guān)鍵創(chuàng)新在于開(kāi)發(fā)的 POSS 樹(shù)脂，與載有顆粒的粘合劑相反，它是自身聚合成連續(xù)的硅氧分子網(wǎng)絡(luò)。因此，該材料避免了將離散二氧化硅顆粒燒結(jié)成連續(xù)體 所需的極端溫度，從而僅在 650°C 時(shí)即可轉(zhuǎn)化為熔融二氧化硅。
●基于 TPP 方法 ，通過(guò)將溫度降低約 500°C，這使得二氧化硅玻璃的自由形式合成低于微系統(tǒng)技術(shù)基本材料的熔點(diǎn)，包括銀、銅、金和鋁。這代表了一項(xiàng)突破，使透明物質(zhì)的片上 3D 打印從最先進(jìn)的有機(jī)聚合物發(fā)展為彈性光學(xué)級(jí)熔融石英。
●POSS 玻璃工藝突破了臨界分辨率限制，在可見(jiàn)光譜 中實(shí)現(xiàn)了自由形式的二氧化硅納米光子器件，同時(shí)能夠制造數(shù)百個(gè)微米尺寸的高縱橫比結(jié)構(gòu)。
展望
總的來(lái)說(shuō)，此研究開(kāi)發(fā)的無(wú)燒結(jié)玻璃打印實(shí)現(xiàn)了光學(xué)質(zhì)量、機(jī)械彈性、加工簡(jiǎn)便性和多尺寸尺度的的組合，并為一般無(wú)機(jī)固體的微米級(jí)和納米級(jí)3D打印設(shè)定了基準(zhǔn)。POSS 玻璃的潛在應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括微光學(xué)和光子學(xué)、MEMS、微流體、生物醫(yī)學(xué)設(shè)備以及基礎(chǔ)研究。用例包括用于從醫(yī)療內(nèi)窺鏡到消費(fèi)電子產(chǎn)品的耐老化和耐環(huán)境的超緊湊型成像系統(tǒng)、高精度傳感器、深空任務(wù)、用于二極管激光器端面的光束整形元件等。
研究背景
基于燒結(jié)的技術(shù)一直在石英玻璃的3D打印中占據(jù)主導(dǎo)地位。然而，二氧化硅基納米粒子的燒結(jié)需要將材料加熱到 1100 °C 的溫度，這對(duì)于打印半導(dǎo)體芯片等來(lái)說(shuō)太熱了。在如此高的溫度下，就不可能在微系統(tǒng)技術(shù)中使用打印的石英玻璃結(jié)構(gòu)，因此想要在微系統(tǒng)中打印石英玻璃結(jié)構(gòu)一直是個(gè)難題，在技術(shù)上也無(wú)法實(shí)現(xiàn)重大突破。
在此研究中，研究者們瞄準(zhǔn)的是雙光子聚合技術(shù)，因?yàn)槲⑾到y(tǒng)技術(shù)如今主要局限于平面結(jié)構(gòu)，而納米分辨率下幾乎不受約束的 3D 設(shè)計(jì)自由度使雙光子聚合 (TPP) 3D 打印具有從根本上改變微系統(tǒng)技術(shù)的潛力。TPP打印是基于光敏材料的激光曝光，這些材料最常見(jiàn)的是具有固有可變光學(xué)、機(jī)械性能以及有限環(huán)境穩(wěn)定性的聚合物。總而言之， TPP 有助于直接在微芯片上原位3D打印形狀復(fù)雜的聚合物自由形態(tài)微米和納米結(jié)構(gòu)的潛力。
研究?jī)?nèi)容
△通過(guò) TPP 3D 打印和后續(xù) 650°C 熱處理的示意圖。
由 Jens Bauer 博士領(lǐng)導(dǎo)的研究小組開(kāi)發(fā)了一種無(wú)燒結(jié)、低溫的3D打印納米級(jí)玻璃結(jié)構(gòu)的新工藝，工藝溫度約為原來(lái)的一半。
●材料
研究人員創(chuàng)造了一種混合有機(jī)-無(wú)機(jī)聚合物的樹(shù)脂，作為研究的初始材料，這種液態(tài)樹(shù)脂由多面體低聚倍半硅氧烷分子 (POSS) 組成，這些是微小的籠狀二氧化硅分子，上面附著有機(jī)官能團(tuán)。
●打印
然后，研究人員依靠雙光子聚合技術(shù)來(lái)3D打印這種 POSS 樹(shù)脂。一旦 3D 打印的有機(jī)-無(wú)機(jī)納米結(jié)構(gòu)形成，它就會(huì)在管式爐中的空氣中加熱到 650°C，從而排出基礎(chǔ)樹(shù)脂的有機(jī)成分并結(jié)合 POSS 樹(shù)脂的無(wú)機(jī)成分。
△熔融石英結(jié)構(gòu)的顯微照片
●后處理
在后處理中，打印物體被放置在異丙醇-酒精浴中20分鐘以溶解剩余的未固化樹(shù)脂。該過(guò)程是為了得到完整且連續(xù)的微米級(jí)或納米級(jí)熔融石英結(jié)構(gòu)。由于POSS樹(shù)脂本身是硅氧分子網(wǎng)絡(luò)，最終打印出來(lái)的結(jié)構(gòu)是由純二氧化硅制成的熔融二氧化硅，完全沒(méi)有燒結(jié)，溫度也很低。研究人員指出：“較低的溫度可以直接在半導(dǎo)體芯片上自由打印堅(jiān)固的光學(xué)級(jí)玻璃結(jié)構(gòu)，并具有可見(jiàn)光納米光子學(xué)所需的分辨率。“
●納米級(jí)結(jié)構(gòu)的測(cè)試
研究人員該團(tuán)隊(duì)在多個(gè)物體上測(cè)試了該方法并制造了各種納米級(jí)結(jié)構(gòu)，包括獨(dú)立光束的光子晶體、拋物面微透鏡和具有納米結(jié)構(gòu)元件的多透鏡微物鏡。通過(guò) TPP 打印了具有非球面輪廓的平凸熔融石英微透鏡，并對(duì)其進(jìn)行了數(shù)值優(yōu)化以校正球面像差。最終的 POSS 玻璃鏡片，基直徑為 82 毫米，矢狀（弧垂）高度為 15 毫米，在 650°C 下進(jìn)行處理，具有原始結(jié)構(gòu)質(zhì)量，具有精細(xì)的納米級(jí)輪廓和光滑表面。測(cè)試結(jié)果表明研究提出的新工藝能夠具有四倍的分辨率增強(qiáng)效果，從而推動(dòng)可見(jiàn)光納米光子學(xué)，同時(shí)也開(kāi)辟了許多可能的應(yīng)用。
△TPP 打印的 POSS 玻璃可以制造高質(zhì)量的自由形式微光學(xué)元件
結(jié)論
Jens Bauer 博士的團(tuán)隊(duì)已經(jīng)成功地通過(guò) 3D 打印的方式生產(chǎn)了多種納米級(jí)石英玻璃結(jié)構(gòu)，完全沒(méi)有任何燒結(jié)。3D 打印的納米級(jí)石英玻璃結(jié)構(gòu)也可以直接打印到半導(dǎo)體芯片上。這種玻璃 3D 打印的新工藝為高科技應(yīng)用、光子學(xué)和微光學(xué)開(kāi)辟了許多有趣且具有前瞻性的可能性。POSS-玻璃 TPP 3D 打印路線可能有助于重新定義硅玻璃自由形式制造的范例，并克服主導(dǎo)該領(lǐng)域的基于粒子的方法的基本局限性。
●研究的關(guān)鍵創(chuàng)新在于開(kāi)發(fā)的 POSS 樹(shù)脂，與載有顆粒的粘合劑相反，它是自身聚合成連續(xù)的硅氧分子網(wǎng)絡(luò)。因此，該材料避免了將離散二氧化硅顆粒燒結(jié)成連續(xù)體 所需的極端溫度，從而僅在 650°C 時(shí)即可轉(zhuǎn)化為熔融二氧化硅。
●基于 TPP 方法 ，通過(guò)將溫度降低約 500°C，這使得二氧化硅玻璃的自由形式合成低于微系統(tǒng)技術(shù)基本材料的熔點(diǎn)，包括銀、銅、金和鋁。這代表了一項(xiàng)突破，使透明物質(zhì)的片上 3D 打印從最先進(jìn)的有機(jī)聚合物發(fā)展為彈性光學(xué)級(jí)熔融石英。
●POSS 玻璃工藝突破了臨界分辨率限制，在可見(jiàn)光譜 中實(shí)現(xiàn)了自由形式的二氧化硅納米光子器件，同時(shí)能夠制造數(shù)百個(gè)微米尺寸的高縱橫比結(jié)構(gòu)。
展望
總的來(lái)說(shuō)，此研究開(kāi)發(fā)的無(wú)燒結(jié)玻璃打印實(shí)現(xiàn)了光學(xué)質(zhì)量、機(jī)械彈性、加工簡(jiǎn)便性和多尺寸尺度的的組合，并為一般無(wú)機(jī)固體的微米級(jí)和納米級(jí)3D打印設(shè)定了基準(zhǔn)。POSS 玻璃的潛在應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括微光學(xué)和光子學(xué)、MEMS、微流體、生物醫(yī)學(xué)設(shè)備以及基礎(chǔ)研究。用例包括用于從醫(yī)療內(nèi)窺鏡到消費(fèi)電子產(chǎn)品的耐老化和耐環(huán)境的超緊湊型成像系統(tǒng)、高精度傳感器、深空任務(wù)、用于二極管激光器端面的光束整形元件等。
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